Phát liệu silic nguyên → nạp liệu xử lý bề mặt
Xử lý bề mặt → mở rộng boron → BSG
Gỉa mòn kiềm → POLY → nung → PSG
RCA→ALD,
ALD → phủ lớp trước → phủ lớp sau → in lưới
Liên kết thân thiện: