Quy trình sản xuất tấm silicon bắt đầu bằng việc cung cấp nguyên liệu silicontrang nha cai, sau đó tiến hành xử lý bề mặt để tạo độ nhám. Tiếp theo là quá trình phun boron, tiếp đến là xử lý lớp BSG, sau đó là mài mòn bằng dung dịch kiềm. Sau khi hoàn tất, tiến hành phủ lớp POLY, rồi nung nóng để ổn định cấu trúc. Tiếp theo là phủ lớp PSG và rửa sạch bằng phương pháp RCA. Sau đó là lớp ALD, tiếp tục phủ lớp mặt trước và lớp mặt sau, cuối cùng là in lưới để hoàn thiện sản phẩm.